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不同梳齿形状的微纳力测量装置研究
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《安庆师范大学学报（自然科学版）》2020年 第2期26卷 78-80,92页
作者：邹韶明安庆职业技术学院机电工程系安徽安庆246003 
梳齿电容是微电子机械系统中所广泛使用的结构,在微纳力测量装置中具有重要作用。针对微纳力测量装置中所使用的不同梳齿结构,利用数值模拟的方法,分析了不同形状梳齿作为微纳力测量装置时,在不同相对位置对微纳力测量结果的影响。研究...
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