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双异质结薄膜制备及激光器件综合实验设计
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《实验科学与技术》2021年 第5期19卷 69-73页
作者：陶鹏程 周新磊 徐潇宇 梁红伟 夏晓川 黄火林 韩秀友 郑佳玥大连理工大学光电工程与仪器科学学院大连116024 大连理工大学微电子学院大连116024 
第三代新型半导体材料是支撑5G通信技术、新能源汽车和光电应用等领域发展的核心材料。为了激发学生对科学探索的兴趣,设计了双异质结薄膜制备及激光器件特性表征的综合实验。该实验包括利用化学有机气相沉积技术制备双异质结薄膜、泵...
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