摘要：运用阳极键合技术,对绝缘体上硅(SOI)/玻璃进行阳极键合实验,发现当埋氧层厚度超过500nm时,键合很难成功.分析了SOI埋氧层厚度对耗尽层电压降及键合静电力的影响,得出由于埋氧层的分压作用,耗尽层的压降减小,键合静电力减弱,导致键合失败.通过设计高压直流和高压脉冲两种输出方式的电源系统,提高氧负离子的迁移速率从而提高键合速度.从平板式阳极引一根探针电极到SOI器件层表面,使键合电压直接加在耗尽层上,避免埋氧层厚度对键合的影响,提高键合静电力.实验表明,通过改进的键合设备能实现不同氧化层厚度的SOI片与玻璃间的键合,该设备还适用于其他异质材料间的阳极键合.

摘要：高温压力传感器应用在很多领域,由于高温将使放大电路工作失效,因而采用将放大电路与传感器件分离的设计方案是解决高温测量的方法之一。介绍一种将放大电路与传感器件分离的基于模型识别技术的微型电容式压力传感器。传感器件由MEMS工艺来实现,信号激励与信号处理由计算机来完成。对电路的工作过程进行了计算机仿真和试验,并给出了微型高温压力传感器的MEMS工艺设计流程。

摘要：介绍了一种基于SOI／硅片键合技术制作的接触电容式高温压力传感器结构，并对传感器的测试装置、测试方法进行详细的介绍后，对传感器进行压力测试和温度特性测试。压力测试结果表明，传感器线性工作区压力为110～280kPa，灵敏度约为0．14pF／kPa；温度特性测试结果表明，传感器具有正温度效应，在30～300％，传感器输出误差约为0．5％。文中还分析了热胀冷缩及介电常数温度系数对传感器温度效应的影响，以及设计了参考电容及运算放大器式传感器测量电路来消除温度效应。

摘要：原木加工板材表面机器视觉缺陷检测对提高板材加工效率和出材率具有重要意义。文章根据常见板材缺陷检测目标,设计了缺陷检测总流程;根据板材检测的分辨率目标及物空间范围,对图像采集系统的各结构参数进行计算及分析,搭建了理想的图像采集系统。

摘要：介绍一种新型电容式加速度微传感器的结构和原理,并进行受力分析。利用ANSYS进行有限元分析,得出加速度和电容之间的非线性关系,证明了该传感器在工艺设计上的可行性。设计合适的传感器结构参数和MEMS工艺流程,制作出满足不同测量要求、有较高精度的加速度传感器。

摘要：键合工艺是微机电系统的重要工艺,是制作MEMS器件成功的关键.基于硅-硅键合技术,设计了一种能在低洁净、室温、常压环境下使用的低真空键合设备.介绍了基于该键合设备的键合工艺及键合质量的评价办法及标准.使用该设备对不同材质的样品进行键合实验,结果表明,键合出来的样品结合强度高,键合面没有缺陷,表明该设备有一定的实用性.

摘要：介绍了基于MEMS技术的微型加速度传感器的原理、制作工艺、测试电路及测试结果。设计原理是把加速度变化转换为传感器的电容变化,制作上以硅-玻璃键合技术、玻璃和质量块的腐蚀工艺以及等离子刻蚀技术(ICP)为主要的工艺过程。传感器的测试采用方波为激励信号,采用CMOS电路来提高测量电容的灵敏度。结果表明,该传感器性能稳定、线性范围广、灵敏度高。

摘要：水平井钻井液携岩问题是一个古老而崭新的课题。随着钻井技术向"优质、快速、安全"方向的发展,这一问题越来越受到人们的重视。本文通过对水平井实验装置的研究及改造,对水平井的岩屑运移规律有了直观的了解。实验中,观察并测量了环空流体返速、流态、钻杆的旋转及偏心、岩屑尺寸形状及不同钻井液等因素对岩屑运移的影响。通过分析实验数据,得到对水平井携岩的影响因素。

摘要：在电气测量时,为了高精度检测相位,通过过零检相来获取2信号过零点时间间隔,采用脉冲填充法与STC89C52高速单片相结合的测量电路,计算出时间间隔的脉冲个数,进而求得相位差值;并引入锁相倍频电路,使基准填充脉冲随着信号频率而变化,消除了频率变化引起的误差;利用数据选择器对采样通道切换,实现了零点漂移的补偿.结果表明,相位测量精度可达±0.020.

摘要：基于机器视觉技术对板材表面缺陷检测进行研究,设计了在线检测的硬件系统和软件处理流程,介绍了图像预处理、图像分割和目标提取等处理方法并对缺陷图像进行相应处理。利用C#软件对板材缺陷在线检测进行人机交互界面设计和在线调试及在线检测。实验结果表明,本检测方法可行,误检率低,可很好地应用于木材自动化生产过程的在线检测。