摘要：利用adams软件对所设计的键合头Z向运动进行了动态仿真,得到设计中弹簧预紧力的大小,是键合头二零件间发生震荡与否的关键因素,并且存在一临界值,大于其值不会发生震荡,小于则会发生。弹簧刚度的大小只影响振动时的振幅,对于没有振动出现的情况无影响。

摘要：偏心轮凸轮机构是排片机和粘片机等后封装设备中一种常见的运动转换装置。这种机构的主动件和从动件之间的运动规律是非线性的,因而实现复杂运动控制比较困难。随着芯片越来越薄,需要对芯片操作的运动更为柔和,以避免对芯片造成损伤。为使从动件能够实现复杂的加减速运动,必须掌握其运动规律。首先推导了偏心轮凸轮机构的理论运动规律,然后用ADAMS软件对其运动进行了仿真。仿真中对主动件设置不同初始旋转角度,可以得到从动件不同的运动特性。对各个运动曲线进行对比分析,找到最佳起始位置,方便机械设计时参考。

摘要：直线电机具有精度高、响应快等优点,广泛应用于半导体制造设备中。直线电机控制机构Z向运动时,经常出现掉电或故障导致的电机动子跌落而发生损坏晶圆的情况。利用电磁铁螺线管设计了一种电机掉电保护装置,建立动力学模型,应用Adams软件进行了动力学仿真,获得了挂钩转角与时间的关系曲线,并通过搭建实验平台,测试了该系统的反应时间。实验表明,反应时间的仿真与实验结果吻合较好,该装置可以应用于直线电机保护中。