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检索条件"作者=郭育澎"
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无氧腐蚀清洗腔设计及工艺过程控制
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《清洗世界》2022年 第8期38卷 19-20页
作者:立刚 赵妍 艾海丰 郭育澎 王峥 王维桐中国电子科技集团公司第四十五研究所北京100176 
本文针对湿法腐蚀二氧化硅薄膜工艺,设计了一种无氧腐蚀清洗腔。同时介绍了湿法腐蚀二氧化硅原理,并重点阐述了无氧环境下的湿法腐蚀二氧化硅工艺过程控制。
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三级倒立摆的数字再设计
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《城市地理》2016年 第7X期 132-133页
作者:郭育澎哈尔滨理工大学 
当系统的一个重要组成部分需要数字计算机时,就要对连续的被控对象进行设计数字控制器。本文根据闭环连续系统与其离散系统之间应遵循的某种等价关系,简述了数字控制系统的再设计问题。并且运用这种方法对三级倒立摆系统进行了数字仿真...
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基于实时工业以太网的晶圆清洗设备控制系统设计
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《电子工业专用设备》2020年 第1期49卷 63-67页
作者:孙国峰 高建利 郭育澎 杜婷婷 张利军中国电子科技集团公司第四十五研究所 
介绍了实时工业以太网的发展历程;对EtherCAT和TwinCAT在硬件拓扑及底层逻辑应用方面进行了分析研究;在硬件上根据接口特性设计了拓扑结构,在软件方面设计了底层逻辑程序模块,并根据底层接口提供了上位机人机界面的设计方法。
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