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机床和半导体制造设备的精密测量技术(Ⅰ)——利用机动球杆的维空间误差评价技术
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《传感器世界》2000年 第1期6卷 1-1页
作者:朴喜载 金永三汉城大学机械设计系 SNU Precision株式会社 
本文介绍机动球杆系统的基本原理、特点和用途。该系统可在几小时内完成机床和半导体制造设备的维空间误差评估。
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