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准分子激光扫描消融淀积大尺寸超导薄膜
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《物理学报》1993年 第10期42卷 1674-1679页
作者:宋文栋 安承武 陆冬生 范永昌 李再光 黄景清 钟红海 赵兴荣 麦志洪 周方桥 郭青蔚 李月南 华志强华中理工大学激光技术国家重点实验室武汉430074 中国广州分析测试中心广州510070 华中理工大学光电子工程系武汉430074 北京有色金属研究总院超导材料研究中心北京100088 
利用我们设计的一套光学变换传输系统实现了激光束在超导靶上一定范围内扫描消融来淀积高T_c超导薄膜。实验表明用这种激光扫描消融方法可使大尺寸超导薄膜的厚度均匀性得到较大的改善。我们采用激光扫描半径为9mm在12mm×33mm的Y-Z...
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