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极化静电力驱动的高粘液膜整平研究
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《机械工程与自动化》2020年 第5期 32-35页
作者：徐征 杨秋野 王晓东 钱艳文 徐晓羽大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室辽宁大连116024 大连理工大学精密/特种加工及微制造技术教育部重点实验室辽宁大连116085 
提出了一种基于电液动力学原理的胶膜整平方法,重点分析了电压大小和电极距胶面的距离对胶面整平的影响与规律,并针对部分主要影响因素进行了系统的实验研究。设计并搭建了基于电液动力学的胶膜平整平台及胶厚的扫描测量平台。通过对实...
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