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GaN基光二极管外延中p型AlGaN电子阻挡层的优化生长
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《物理学报》2011年 第1期60卷 473-478页
作者:王兵 李志聪 姚然 梁萌 闫发旺 王国宏中国科学院半导体研究所半导体照明研发中心北京100083 
本文利用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)方法系统地研究了p-AlGaN层掺杂机理及优化设计生长.明确了生长温度、压力及TMAl的流量对AlGaN层Al组分的影响关系,并给出了各自不同的机理与作用.研究现,Al组分介于10%—30%之间能够很好地将...
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