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新型电阻(金属膜)专用镀膜机的研制
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《真空》2007年 第4期44卷 50-51页
作者：马铁明 付洪川 闫正宇 董丽娜 王春东锦州航星集团有限公司辽宁锦州121000 东北大学辽宁沈阳110004 锦州市科学技术馆辽宁锦州121000 
新型磁控溅射电阻镀膜机是在同一台设备上能制作出中、低和高阻值金属膜电阻的专用设备。文章主要是对它的结构及设计核心部分进行了论述,并将研制中的一些数据和关键部分予以阐明。
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