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影响晶圆凸点电镀质量的设备因素
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《电子工艺技术》2024年 第4期45卷 38-40,44页
作者:段晋胜 闫瑛 王成君中国电子科技集团公司第二研究所太原030024 
随着异构集成模块功能提升和特征尺寸的不断增加,三维集成技术应运而生。凸点之间的互连是实现芯片三维叠层的关键,制备出高可靠性的微凸点对微电子封装技术的进一步发展具有重要意义。详细分析了影响晶圆凸点电镀质量的几种设备因素,...
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3种磨齿倾角的等距直齿磨盘的磨浆特性
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《东北林业大学学报》2020年 第10期48卷 109-114页
作者:刘欢 董继先 郭西雅 杨瑞帆 蒋小军 田晓辉 罗冲 张利涛 闫瑛 田泱源陕西科技大学西安710021 南通华严磨片有限公司 河南卷烟工业烟草薄片有限公司 
通过定义磨齿倾角,设计了3种不同磨齿倾角的等距直齿磨盘,对漂白硫酸盐桉木浆进行低浓磨浆实验,发现磨盘1(5°)及磨盘2(22°)对浆料打浆度的提升作用基本一致,而磨盘3(39°)对打浆度的影响较小;磨盘对于纤维的切断作用随磨...
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基于多视场视觉系统的倒装焊机调平和对位
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《山西电子技术》2020年 第2期 10-12,35页
作者:景灏 王瑞鹏 闫瑛 狄希远中国电子科技集团公司第二研究所山西太原030024 
红外探测器是一种重要的红外器件,它由高密度阵列焊点的芯片与相同阵列焊点的基板倒装互连制造而成,其高精度的互连工艺对倒装焊机的调平和对位提出了更高的要求。本文针对该要求,结合自主研制的新型倒装焊机,从解决高精度互连工艺中关...
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