摘要：针对精密机械内部空间狭小,一般位移传感器难以安装的问题,提出了基于容栅传感器的微小位移测试系统。该测试系统利用容栅厚度较小、安装简单的特点,简化了安装操作,避免了对被测试结构的破坏。通过仿真分析和优化设计,消除了传感器的边缘效应,基于差分放大原理的微小信号检测电路,有效地降低了共模干扰,从而提高了传感器的测量精度。试验测试和数据分析表明,测试系统的响应速度快、分辨率高,能快速准确地测量微小位移。

摘要：针对微小位移测量难度大、测试环境空间狭小传感器安装受限,设计了基于容栅传感原理的微小位移传感器。针对容栅传感器存在边缘效应问题,利用ANSYS Electronics Desktop仿真软件,对栅条宽度、栅条间距、栅条宽度与间距比以及传感器结构等影响边缘效应的因素进行仿真分析。依据仿真结果对容栅传感器进行优化设计并进行测试。测试结果分析表明,选择最简梳状结构、减小栅极间距和栅条间距、增大栅条宽度,可以最大程度减小容栅传感器的边缘效应,增加等位环可消除边缘效应。