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梳状谐振器的F-I类比宏模型及SPICE分析: 收藏
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引用; 《固体电子学研究与进展》2003年第3期23卷 344-348页; 作者：闻飞纳李伟华戎华东南大学MEMS教育部重点实验室南京210096; 分析了双极板静电换能器在小信号激励下极板水平运动的情况 ,推导了适合于 F-I类比的机电关系表达式。由于 SPICE中没有对应此关系式的库单元器件模型 ,对包含有此换能器结构的系统很难进行完整的SPICE描述。对此关系式设计了两种可用 S...; 分析了双极板静电换能器在小信号激励下极板水平运动的情况 ,推导了适合于 F-I类比的机电关系表达式。由于 SPICE中没有对应此关系式的库单元器件模型 ,对包含有此换能器结构的系统很难进行完整的SPICE描述。对此关系式设计了两种可用 SPICE描述的等效电路 ,以达到梳状谐振器 F-I类比宏模型的整体一致性描述。; 来源：详细信息评论

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