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KZ-400离子束刻蚀装置的研制
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《真空科学与技术学报》2006年 第1期26卷 48-53页
作者：徐朝银 董晓浩 赵飞云 高飞 徐德权 凤良杰 阎佐健 孙继武中国科学科技大学国家同步辐射实验室合肥230029 沈阳市慧宇应用技术研究所沈阳110042 
日前我室为制作大口径(400 mm×400 mm)衍射光学元件需要,成功研制了一台KZ-400离子束刻蚀装置。它是基于物理溅射效应,将基底匀速扫描条形离子束,连续铣削材料的原子层来实现大面积刻蚀。通过对关键部位的有限元计算,分析影响装置...
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