摘要：光刻曝光形成的成像分辨率是光刻系统的重要指标,而光衰减器的衰减调节能力直接影响系统的曝光效果。为了获得更大的动态调节能力,设计了一种新型可调光衰减器。该可调衰减器通过联动转镜的结构设计得到实现,当联动转镜角度从25°变化到45°时,衰减器的平均透过率从94. 2%变为7. 8%。联动结构的设计提高了系统的稳定性,并且最大程度的降低了对入射光角度的干扰。在新型光可调衰减器上设计蒸镀了两种深紫外高激光损伤阈值的光学膜。实验采用LZH ML6500 VUV-Spectrometer分光光度计对镀制样品的光谱进行测试,实验结果表明在[8%,90%]范围内光能透过率是连续可调的。应用Ar F准分子激光器,以11. 57 KW/mm2的功率密度照射能够稳定工作,符合设计要求。与传统光可变衰减器相比,该结构衰减动态调节范围宽且更稳定。

摘要：应变和温度是光纤光栅系统中主要的两个参量,而其又存在交叉敏感问题。为了同时获取此双参量,降低交叉敏感的影响,设计了一种基于组合型FBG的测试系统。依据不同芯径大小的应变效果不同的原理,研究了一种组合型FBG。在计算波长偏移量与应变、温度关系的基础上,推导了波长偏移量的相关函数,并分析了的耦合方式及耦合效率。实验中,采用光源、传输光纤、组合型FBG等完成了对应变、温度的测试。结果显示组合型FBG随温度变化时,波长偏移量基本一致。但应力变化时,斜率变化差异较大。最终,对不同条件下应变和温度进行测试,标定了组合型FBG温度、应变的响应系数。由此可见,通过检测组合型FBG的波长偏移量可以实现对温度和应变的同时解析。该设计无需熔接、拉锥等复杂工艺,结构简单、扩容兼容能力强,具有很高的应用价值。

摘要：为实现浸没式光刻照明系统掩模面上高均匀照明性和不同照明模式,对照明系统中的光束传输系统进行了研究。浸没式光刻照明系统中的激光光束传输系统是光刻机中的重要组成部分,直接影响光刻机性能。针对浸没式光刻照明系统特点,提出了采用球面镜和柱面镜组合的光学结构,进行了激光准直扩束系统的光学设计与仿真分析。此外,对设计的准直扩束系统进行了公差分析,以保证在加工和装调完成后光束的发散角和口径均满足设计要求。最后,在系统完成的基础上对不同位置处的光斑尺寸进行测量。设计结果表明,系统能够满足光束在5～20 m传输光路范围内,不需要进行透镜间隔的调节,实现光斑大小和发散角满足设计要求,保证目标光束口径在(28. 5±0. 5) mm范围内,X方向发散角为1. 2 mrad,Y方向发散角为1. 84 mrad。通过分析发现,设计结果能够很好地满足指标的精度要求,具有重要的应用价值和实用意义。

摘要：在超大规模集成电路中,为了满足波长193 nm数值孔径为1. 35的45 nm节点紫外光刻曝光光学系统对高分辨率的要求,设计了一种新型的均匀性补偿器件,用于提高照明系统的出射光均匀性从而实现光刻线条的高度均一性。该照明均匀性补偿器的主要功能是实现对照明视场的能量分布进行微调,从而减小系统的残余不均匀性,保证系统在掩膜面及硅片面上的能量分布均匀性达到更高指标的要求。此外,使用CODE V软件对该照明系统的均匀性进行仿真分析,研究发现采用新型均匀性补偿器可以在传统照明和离轴照明模式下同时的光刻照明系统对掩膜面的非均匀性均低于0. 5%。与传统匀光单元相比,该新型均匀性补偿器在不增加光刻照明系统机械设计和控制难度的基础上可明显提高光刻照明系统的均匀性,故该器件具有更好的应用价值和实用意义。

摘要：针对空间激光通信光学系统在800±5 nm和1550±5 nm收发效率大于98%的要求,采用Essential Macleod膜系设计软件结合物理气相沉积设备,在微晶玻璃上完成了空间激光通信光学系统中近红外反射膜的研制。提出行星夹具补偿挡板的修正方法,可将口径300 mm基片的薄膜厚度均匀性提高至99%。利用Lamda1050光谱仪测试了反射镜的光谱曲线,结果表明所研制的膜层在800±5 nm和1550±5 nm处反射率均值分别为99.3867%和99.1717%,满足技术指标要求。对实验样品开展了面形、附着力和高低温等环境适应性试验,试验结果满足空间激光通信光学系统使用要求。

摘要：为了实现对空间小目标的毫米级成像,设计了基于转台模型的逆合成孔径成像激光雷达系统,实现了距离向和方位向的数据融合并完成了模拟目标的2维图像重建.系统采用窄线宽光纤激光器、大带宽电光调制器完成了对激光脉冲的线性调频,并利用外差干涉的原理提高了回波信号的信噪比.结合空间小目标的运动特性,推演了含有旋转分量的激光雷达回波信号方程.在R-D算法中代入旋转分量完成图像重建的校正,实现了对模拟空间小目标的2维图像重建.实验用毫米级铝条模拟空间小目标,用步进电机使转台匀速旋转,模拟目标旋转过程.实验结果显示:当目标固定时通过回波能量即可获得1维距离向图像,峰值位置与真实目标的特征位置一致;当目标运动时通过数据压缩、R-D算法及旋转分量的校正可获得模拟小目标ISAIL的2维重建图像,验证了系统可实现对毫米级模拟小目标的图像重建.

摘要：基于压缩感知理论的关联成像是用与信号的稀疏表达基不相关的测量基,对信号作投影测量再利用测量矩阵和探测数据通过计算成像的方式重构高光谱图像,因此使用压缩感知成像系统进行光谱成像时必须通过标定获取其测量矩阵。本文搭建了一套高光谱关联成像标定系统,通过干涉截止滤光片完成了高光谱关联成像标定系统中薄膜器件的设计。选择K9玻璃作为基片材料,五氧化二钽(Ta_(2)O_5)和二氧化硅(SiO_(2))为高、低折射率材料。根据光学薄膜基础理论,结合Essential Macleod膜系设计软件实现了膜层的设计,在OZZSQ900型箱式真空镀膜机上完成了薄膜的制备,采用Lamda1050分光光度计测试在350~380 nm范围的反射率为99.61%,400~740 nm范围的反射率为0.98%,该研究具有重要的实际意义和工程价值。

摘要：为了实现在大范围被测区域内实时温度监测的功能,选用光纤布拉格光栅（FBG）测温网络,同时,为了提高系统的温度测试精度和抗干扰能力,设计了基于差分校正的FBG测温网络系统。系统在原有测试结构的基础上,增加了校正光纤探头,从而针对任意位置上个别环境变化造成的温度误差进行校正。通过理论推导,差分校正值表达式被给出,并由此设计了差分校正算法。实验采用温度控制箱使被测区域温度从20℃变化为80℃,最小温度改变量为1.0℃。实验结果显示：回波中心波长产生的偏移量和温度之间大致每1.0℃的温度变化产生35-45 pm的偏移。差分校正型测温系统的温度检测误差为0.47%,优于传统的测温系统,并且基于差分校正的测温系统受局部环境影响很小,具有较高的系统稳定性。

摘要：为了使图书馆的数字资源可以更好地为高校师生服务,提出了基于数字网络平台的高校图书馆推广方案。在分析了当前图书馆数字化过程中存在具体问题的基础上,讨论了网络平台对高校图书馆推广的意义。综合分析后提出了高校图书馆数字网络平台建设的发展思路,给出了具体的实施路径。对图书馆数字化升级与推广提出了新的发展思路。

摘要：开发一种能在水平面内和垂直面内进行标线和标点的设备，即激光目标发生器。由于在车辆总装过程中，需要对装配的基准点和基准线进行精密定位，所以这种设备十分必要，中设计的方案综合的运用光电工程技术、光电轴角编码器技术、光学设计和微位移技术等多种理论，主要由激光器和三维微位移机构组成，满足装甲车辆装配过程中标线和标点的技术要求。