摘要：高端荧光、拉曼等生物医学检测需要超高透射、超锐截止滤光片,包括带通、单侧截止、多通带、陷波及分色等多种典型光谱类型。本文简要介绍了五种典型光谱滤光片的膜系设计方法,并以230层双侧锐截止带通典型膜系为代表,详细介绍了超多层薄膜的等离子反应溅射镀制工艺,多监控片膜厚控制及膜厚误差模拟仿真技术,超锐截止光谱表征技术及检测方法。最后给出研制的五种典型锐截止生物医学滤光片镀制结果(部分结果含增透):单面镀膜双侧锐截止带通滤光片的透射率大于95%,截止陡度优于1%;单面镀膜单侧锐截止滤光片峰值透射率大于95%,截止陡度优于0.7%;双面镀膜三通带锐截止滤光片平均透射率大于95%,截止陡度优于1%;陷波滤光片截止深度优于OD6,通带透射率大于90%;分色镜(45°入射)陡度优于1%,平均透射率大于95%。

摘要：基于荧光内窥镜的实际应用确定陷波滤光片的技术指标,以光学薄膜理论为基础设计陷波滤光片结构,采用Essential Macleod软件辅助进行膜系设计,分析膜层敏感度,选择合适镀膜设备、工艺控制方法制备陷波滤光片。制备的滤光片通带透射率均值达到97%以上,截止背景达到OD6以上,透射波前畸变低于λ/4@632.8 nm,满足医疗健康微创精准手术的应用需求。

摘要：针对当前陷波滤光片设计方法中,因需要大量薄层和折射率连续渐变而导致的制作难度较高的问题,介绍了一种陷波滤光片的类褶皱膜系设计方法。此方法中,每层薄膜的层内折射率不变,层间折射率呈离散型渐变,每层为1个光学厚度,膜系模拟计算的光谱很好,并可降低制造工艺难度。给出了膜系的基本结构形式,并分析了其中各参数对陷波滤光片光谱的影响,指出了参数变化对光谱影响的基本规律。通过对典型膜系设计,模拟分析了膜厚偏差和折射率偏差对光谱的影响。结果表明,膜系对膜厚偏差更加敏感,为膜系镀制工艺中的误差控制提供了理论依据。

摘要：本文分析了手术灯隔热、色温调整及高显色性的光学技术要求,采用在隔热玻璃基片上镀制多层干涉薄膜,设计了具有升色温、高显色性与隔热性能的手术灯用滤光片,再利用色温与显色指数模拟计算软件,对滤光片膜系及光谱进行了优化设计。采用该滤光片设计的手术灯色温达(4200±150)K,显色指数>92,隔热性>99%,达到了设计要求。

摘要：介绍了带宽系列为３０～４０ｎｍ 的硬膜矩形化带通滤光片的设计和制造方法。采用七半波膜系以获得矩形化程度较高的通带波形和深度的背景抑制特性（ＯＤ５～ＯＤ６），结合工艺特性和允差模拟分析对膜系进行优化设计。采用光学过正极值法监控膜厚，采用非球面夹具解决膜厚均匀性问题。

摘要：基于膜厚渐变-波长渐变的原理设计了波长渐变滤光片,介绍了基于反应磁控溅射镀膜工艺制造波长渐变滤光片的制备工艺,设计了渐变膜厚的修正掩膜板。探讨了波长渐变滤光片的测试技术。

摘要：窄带滤光器件是获取纯净光谱信息的关键光学元器件,光谱参数是衡量其性能的重要指标。利用Essential Macleod光学薄膜设计软件进行仿真模拟实验,分析光谱参数的影响因素,并对所有膜层进行敏感度分析,探讨膜层敏感度和光谱特性的影响关系,揭示不同因素影响窄带滤光器件光谱参数的规律。研究结果可为滤光器件膜系设计提供理论依据,有利于提高滤光器件的性能。

摘要：荧光滤光片是应用于生物医学和生命科学仪器的关键元件。介绍了深背詈、高截止陡度荧光滤光片的设计和镀制工艺。采用优化设计HB-βBPF膜系，提高荧光滤光片的隔离度。分析了散射对背景深度的影响，通过优化工艺参数，降低散射。研制的荧光滤光片截止陡度小于10nm（OD0．3-OD5的波长间隔），邻域背景达到OD7-OD8。

摘要：研究了人体红外测温、成像系统光学薄膜滤光片的光谱特性参数、膜系设计及镀膜工艺。根据黑体辐射理论计算人体红外辐射光谱分布,提出滤光片光谱特性参数要求:截止波长5.5μm,透射区波段7μm^12μm,平均透射率大于85%,截止波段UV-5μm,平均截止背景大于OD3。采用单晶硅片为基底,锗、硫化锌为镀膜材料,设计滤光片膜系,研究提出真空镀制工艺。