摘要：本文利用朗缪尔双探针对电弧离子镀等离子体进行了诊断。双探针具有收集电流小的优点(小于离子饱和电流),可以避免探针在高密度电弧离子镀等离子体中被烧坏。利用离散傅里叶变换(DFT)对测量曲线进行平滑,有效地克服了电弧离子镀等离子体放电所固有的强烈波动。探针端部设计能够避免由薄膜沉积造成的探针与支撑杆短路问题。实验结果表明,等离子体密度随着弧电流和气压的增加而增加,而电子温度随着弧电流和气压变化不明显。另外,使用双靶放电等离子体密度和电子温度高于单靶放电。这些结果提供了电弧离子镀等离子体的基本参数,对于材料涂层工艺研究具有积极意义。

摘要：开发了一种新型线形同轴耦合大面积微波等离子体源,针对该新型等离子体源放电空间等离子密度及分布的不明确性,利用朗缪尔单探针法研究了不同放电参数下该等离子体源等离子体密度及空间分布情况。以微波功率,氢氩总流量(氢氩流量比为3∶1)和距石英管的距离Z为3个因素设计正交实验探究了宏观放电参量对等离子体参数的影响。测试结果表明该型等离子体源的电子密度均在1010cm-3以上。其次,诊断了在距石英管Z为14 cm处,等离子体参数沿空间水平的分布情况,探究薄膜的最佳沉积区域。最后,根据等离子诊断情况进行硅薄膜的沉积,由XRD结果表明薄膜为多晶结构,拉曼光谱显示沉积硅薄膜晶化率均在92%以上,沉积速率在8 nm/min。

摘要：随着健康中国战略的深入推进,当前的儿童健康管理模式已经难以满足新时代我国儿童身心健康的发展需要,儿童健康管理在顶层设计、制度安排、技术手段等方面都面临新的挑战。应当推动儿童健康管理的理论研究与供需调查,为顶层设计提供理念支持;引入社会与市场治理主体,融入国家治理现代化进程;加快技术创新与规范建设,助力儿童健康管理信息化。

摘要：HFETR 的控制保护系统,经运行、设计和检修人员的共同努力,经受了十年运行的考验。本文介绍了控制保护系统十年运行状况以及针对实际运行中出现的问题所做的必要改进。这些改进使控制保护系统各设备更完善,操作更简便,可为该系统的今后设计提供点滴借鉴。