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扫描电子显微镜隔振器中螺旋弹簧的最优化设计
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《机械设计与研究》1993年 第1期9卷 28-30页
作者:邵健中 邹立 陆章超 朱祖福浙江大学 上海电光所 
一、引言 智能化高分辨力扫描电子显微镜DXS-4型是上海电子光学技术研究所正在研制的新型仪器。该仪器的主要技术指标—点分辨力为4nm,是当前国内最高水平,也是国际上采用钨阴极同类仪器80年代末期水平。决定扫描电子显微镜分辨力的因素...
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