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优化关键工艺参数提升功率器件引线键合的可靠性: 收藏
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引用; 《电子测试》2022年第19期36卷 43-47页; 作者：聂洪林陈佳荣任万春郭林蔡少峰李科陈凤甫蒲俊德西南科技大学信息工程学院四川绵阳621000 四川立泰电子有限公司四川遂宁629019; 探究了引线键合工艺的重要参数对功率器件键合可靠性的影响机制,进而优化超声引线键合工艺参数。采用单参数变化实验设计方法,改变超声功率、键合压力、键合时间等关键参数制备芯片,利用拉断力测试方法表征引线键合的质量,研究工艺参数...; 探究了引线键合工艺的重要参数对功率器件键合可靠性的影响机制,进而优化超声引线键合工艺参数。采用单参数变化实验设计方法,改变超声功率、键合压力、键合时间等关键参数制备芯片,利用拉断力测试方法表征引线键合的质量,研究工艺参数与键合质量的映射关系,分析其影响机理;进一步利用正交实验得到引线键合关键工艺参数的优化配方。实验结果表明,当超声功率210 mW、键合时间80 ms和键合压力3.4 N时,可得到较好的键合可靠性和数据收敛性。而且,参数中超声功率对键合可靠性的影响最大,键合压力次之,而键合时间的影响不显著。; 来源：详细信息评论

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