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超灵敏度检漏技术在高抽速自动排气系统中的应用: 收藏
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引用; 《真空》2022年第3期59卷 63-67页; 作者：田明利邱立董云宁陈俊儒陈又琦唐榕张吉峰中国电子科技集团公司第十二研究所北京100016 北京东方计量测试研究所北京100086 北京市真空计量检测工程技术研究中心北京100029 北京真空电子科技有限公司北京100016; 为解决行波管排气和真空封装工艺过程中的微小漏率检测问题,将超灵敏度检漏技术集成在高抽速自动排气系统中。设计的装置主要由主真空系统、外真空及烘箱系统、累积比较检漏系统、标准气体流量系统及控制系统等组成。排气系统设计为八...; 为解决行波管排气和真空封装工艺过程中的微小漏率检测问题,将超灵敏度检漏技术集成在高抽速自动排气系统中。设计的装置主要由主真空系统、外真空及烘箱系统、累积比较检漏系统、标准气体流量系统及控制系统等组成。排气系统设计为八工位结构,空载时极限真空度达到超高真空范围,烘箱可进行高温加热,该系统采用程序控制,具有自动采集、存储、分析和传输功能,实现排气工艺全过程自动化。标准气体流量系统可提供5×10^(-7)~5×10^(-16)Pa·m^(3)/s范围的标准气体流量,集成的超灵敏度检漏下限可达5×10^(-16)Pa·m^(3)/s,整套装置对行波管漏率检测结果的合成标准不确定度小于15%。; 来源：详细信息评论

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