摘要：在光刻机的对准、曝光和量测等过程中,存在量程范围小,测量精度要求极高的套刻标记。这些套刻标记在实现特定功能的同时,会受到多种误差的影响,比如标记线宽与设计差异、标记线条边缘粗糙度、标记边缘效应等。该文旨在解决光刻套刻量测领域中的问题,特别是针对业界常用的微型衍射套刻(micro diffraction-based overlay,μDBO)标记,通过对穿线套刻情形进行量测过程的仿真研究,提出了一种借助光刻成像仿真软件进行标记量测结果仿真的方法。该文运用自制代码的DrM软件和商业仿真软件HyperLith作为工具,两者的仿真结果均定性还原了实验中探测到的特殊亮暗线现象,验证了该方法用于量测仿真的可行性。此外,该文还对匹配实验仪器的穿线套刻μDBO标记设计、照明波长、照明配置和待测信号区域等参数进行仿真优化,输出了基于目前实验配置的优化标记与方案。

摘要：针对无人船在未知海洋环境下的避碰问题,提出了一种基于集合制导和动态窗口约束的无人船自主动态避碰方法。为了使无人船能够在沿预先规划路径航行的同时规避障碍物,采用了一种基于集合制导算法的无人船航行模式切换策略。当满足一定条件时,该策略能够使无人船在路径跟随模式和避碰模式之间进行切换,以实现航迹跟踪控制与避碰路径规划相结合;同时考虑到船舶自身的操纵性能,设计了一种基于动态窗口约束的反应式避碰方法。仿真试验表明,在满足国际海上避碰规则的前提下,该方法能够使无人船在沿预设路径航行的同时,有效地规避障碍物。

摘要：对一种仿生弹跳机器人——SEUJumper——的离散和连续运动进行研究,建立了折叠式和展开式两种落地摔倒后自复位方法模型,仿真分析了两者的运动性能,建立了离散式和连续式航向调节方法模型,比较了两种模型的优缺点.设计了自复位和航向调节的机构模型,实现了样机制作,并分别在平整实验台和崎岖草地环境中对两种自复位方法和两种航向调节方法进行了测试.实验结果表明,所设计的机构都能完成机器人在平整表面的自复位和航向调节,而只有展开式自复位和连续式航向调节机构可以分别实现在粗糙表面的自复位和航向调节,即在整体离散弹跳运动中加入局部连续运动能提高SEUJumper在室外崎岖环境中的运动性能,从而说明充分考虑离散和连续运动的协作设计思路能够增强机器人在非结构化环境中的适用性.

摘要：为了探明不同品系白芥种子萌发期对两种中性盐(NaCl、Na_(2)SO_(4))和两种碱性盐(NaHCO_(3)、Na_(2)CO_(3))胁迫的耐受性,本试验选用3个白芥品系(11白芥3-1、13白芥15-2、12白芥15-7)为研究对象,设计0~240 mmol/L NaCl、0~210 mmol/L Na_(2)SO_(4)、0~75 mmol/L NaHCO_(3)和0~40 mmol/L Na_(2)CO_(3)四种盐碱胁迫处理,以蒸馏水为对照,通过分析发芽势、发芽率、发芽指数、芽苗鲜重、胚根长、胚轴长、耐盐阈值等指标的差异和相关性,探究了白芥种子萌发对不同盐碱胁迫的耐受性。结果表明,(1)12白芥15-7品系对Na_(2)CO_(3)胁迫的耐受性最强,11白芥3-1品系对NaHCO_(3)、NaCl和Na_(2)SO_(4)胁迫的耐受性最强。(2)当Na^(+)浓度一定时,白芥对SO_(4)^(2-)的耐受性比对Cl^(-)的强;HCO_(3)^(-)和CO_(3)^(2-)对白芥发芽率的影响程度因品系不同而有差异,但在Na^(+)浓度一定时,白芥对HCO_(3)^(-)的耐受性比对CO_(3)^(2-)的强。(3)20 mmol/L Na_(2)CO_(3)、45 mmol/L NaHCO_(3)、90 mmol/L Na_(2)SO_(4)和150 mmol/L NaCl可分别用于筛选对4种盐具有不同耐性的白芥种质。(4)15 mmol/L NaHCO_(3)、30~60 mmol/L NaCl处理对白芥种子胚轴和胚根伸长有一定的促进作用。(5)白芥种子萌发各指标间呈显著或极显著正相关,但与4种盐浓度均呈极显著负相关,其中发芽指数与NaCl、Na_(2)SO_(4)、NaHCO_(3)浓度间相关性最大,胚轴长与Na_(2)CO_(3)浓度相关性最大。本研究结果可为筛选适应不同盐碱地类型的白芥新种质提供理论基础,并为不同类型盐碱地生物治理中植物材料的选择提供参考。

摘要：针对模型预测控制在线计算量大,难以满足无人船实际航行中的实时性要求的问题,提出一种基于显式模型预测控制的航迹控制方法。首先利用视线制导算法(LOS),根据无人船当前位置和期望航迹信息,设计无人船艏摇角的参考值,将无人船航迹控制简化为艏向控制。其次,将显式模型预测控制算法应用于无人船艏向控制问题中,该算法既保持了模型预测控制方法的优势,又提高了计算速度。最后通过仿真试验验证了所提出的方法可以显著提高无人船航迹控制的实时性。

摘要：为了实现一般手眼系统与线结构光焊缝跟踪系统主要部件的复用,在一般手眼系统的基础上,加装激光器、滤光片、保护装置等设备,将其用作焊缝跟踪系统中的线激光结构光焊缝跟踪传感器。通过实验对原手眼系统的标定结果进行实验修正,使其可以替代线结构光焊缝跟踪传感器的标定。详细分析了安装激光器、滤光片、保护装置等对原手眼标定结果造成的影响,使用数据逼近的方法提高线激光结构光焊缝跟踪传感器的手眼标定精度;实验时先对手眼系统进行标定,得到相机坐标系到工具坐标系的原外参矩阵;再对使用原外参矩阵得到的焊点数据,与焊点的实际坐标的误差进行分析,修正手眼系统标定结果。通过实验验证了本方法在手眼系统标定结果基础上,进行加装机构后的线结构光焊缝跟踪传感器的手眼标定的平均精度可达0.53 mm,能够满足机器人焊接的需求。

摘要：光学相干成像技术(optical coherence tomography,简称OCT)是一种新型的成像探测技术。为了驱动血管OCT环向扫描,进行血管疾病的早期诊断,研制了直径约1mm的超声电机。为此,先后研究了直径为1mm的压电圆柱型超声电机,切角为0.8mm的压电方柱型超声电机,外径为1mm、内径为0.6mm的压电管型超声电机和空心金属方柱(边长为0.6mm)压电片复合超声电机。这些电机分别驱动OCT组成内窥探头,获得了不同分辨率的生物组织扫描图像,其最高纵向和横向分辨率达到7.5μm和6.5μm。简要介绍了超声电机的设计、模拟计算、实验方法和主要性能。

摘要：二氧化碳(CO2)催化加氢制备甲醇等重要化工原料是一项具有前景的碳循环利用技术。目前,该技术的核心挑战是开发出高活性、高选择性和高稳定性的CO2加氢催化剂。相比于传统的铜基催化剂,铟基催化剂有较高的甲醇选择性和高温稳定性,近年来受到学术界的关注。然而,目前人们对In基催化剂CO2加氢反应机理和催化本质等科学问题的认知尚未形成统一理论。本综述总结了催化剂制备、反应机理研究与热力学分析、催化剂结构表征方法等进展。针对目前存在的单程转化率不高、催化剂稳定性不足等问题,提出未来研究方向包括引入新的助剂或活性组分,设计特殊结构的催化剂以及耦合分子筛等。

摘要：针对供电部门所辖范围内的用户,开发出一种能完成电费管理、信息管理等功能的综合管理系统.该电费管理系统采用B/S模式(浏览器/服务器模式),面向对象语言Java作为编程开发语言,动态网页采用JSP技术来制作,网络数据库则使用My SQL,同时采用JDBC接口连接My SQL数据库,Tomcat作为Web服务器,集成开发环境选择My Eclipse6.6.该系统可以较大地降低电力部门的管理成本,减轻供电系统日常管理的压力.

摘要：太阳能作为一种可再生能源,具有普遍存在、储量无限、利用清洁、使用经济等优点,拥有非常广阔的利用前景。但太阳能的利用效率比较低,这一问题阻碍了太阳能技术的发展,为此,提出一种双轴太阳能自动跟踪系统。光信号采集模块根据光照强弱输出反馈信号,单片机主控模块则根据此信号控制继电器的通断,从而实现系统水平、俯仰两个自由度的控制。整个系统可以实时调整电池板的方位和角度,这极大地提高了太阳能的利用率。