摘要：介绍了集成电路行业中在光刻版数据处理时的工艺涨缩问题,分别讨论了正涨缩和负涨缩问题,涨缩与反转处理的次序问题,尤其对位于版图边沿图形的涨缩进行了详细的讨论,并且提出了一种电子设计自动化软件的解决方案和实际结果。

摘要：采用有限状态机模型设计了集成电路光刻版上各个图形布局的自动系统。将布局的各个阶段定义为不同的状态,布局规则定义为触发条件,组成一个有限状态机。基于此模型的计算机自动布局系统能自动完成图形在光刻版上的布局,充分利用硅圆片面积并给出布局报告。

摘要：提出一种新的UT1X光刻版规格63.5mm×127mm,与原来的76.2mm×127mm的UT1X光刻版适用于同一种UltraTech步进光刻机。相应的光刻版数据处理以及夹具进行了调整。新规格的光刻版将127mm×127mm的基材的产出提高了一倍,加快了光刻版的生产速度,同时减少了废弃物的产生,有利于降低成本和环境保护。

摘要：在计算机辅助设计软件中,光学设计自动化软件是随着微光子学、光电子学和深亚微米集成电路的发展而逐渐产业化的,相对于电子设计自动化软件而言,仍有许多有待完善和改进的地方。在验证方面主要从原理验证、合理性验证和实验验证来保证光学设计自动化软件的正确性和质量。同时也给出了相关的实例。

摘要：采用有限状态机模型来仿真集成电路行业中光刻版图形的处理过程,涵括了层次处理、涨缩处理和反转处理。将不同的处理过程定义为相应的状态,将图形处理要求定义为输入条件触发状态转换。该模型已应用于光刻版数据处理的电子设计自动化软件。

摘要：为了保证磁约束核聚变装置(EAST托卡马克)中软X射线和XUV等辐射诊断系统得到的物理信号具有满意的信噪比,必须对微弱信号处理电路(系统)采用合适的电磁防护措施。基于前期的经验和近期的实验测试结果,系统研究了信号获取过程,重点介绍了相关微弱信号处理电路系统的电磁防护措施。通过实验室测试得出了微弱信号处理电路最佳的电磁防护措施(屏蔽、接地、滤波),并应用于EAST装置软X射线诊断系统和XUV诊断系统中。结果表明,对信号处理电路及整系统采取合适的电磁防护措施后,电路增益提高到106,带宽提高到100 kHz,噪声降低到10 mV,表明设计的电路方案可行,采用的电磁防护措施效果明显。

摘要：由千枚岩等软弱围岩引发的大变形是隧道施工中的难题之一,以我国雅鲁藏布江附近的拍拉铁路隧道为例,在预设计图纸的指导下,结合隧道现场围岩情况,优化设计参数及施工工艺,通过超前地质预报和监控量测措施,圆满地完成了拍拉铁路隧道施工任务,为以后类似隧道的施工提供了参考。