摘要：Optical proximity correction (OPC) systems require an accurate and fast way to predict how patterns will be transferred to the *** on Gabor's 'reduction to principal waves',a partially coherent imaging system can be represented as a superposition of coherent imaging systems,so an accurate and fast sparse aerial image intensity calculation algorithm for lithography simulation is presented based on convolution kernels,which also include simulating the lateral diffusion and some mask processing effects via Gaussian *** simplicity of this model leads to substantial computational and analytical *** of this method is also shown through simulation results.

摘要：光刻仿真工具是描述实际工艺的有效工具。利用光刻仿真工具 ,能够准确地描述由掩模制造工艺、光刻胶曝光、显影、蚀刻所引起的光学邻近效应和畸变所导致的关键尺寸的变化。利用了改进的空间图像仿真及可变光强阈值模型来获得准确的硅片图形。改进的空间图像的基本思想是 ,用空间图像与一个高斯滤波器进行卷积 ,从而使图像较原来变得模糊 ,以此来模拟光刻胶的实际扩散效应。描述了一种适用于快速光学邻近校正 ( OPC)

摘要：针对细长竹木圆棒胚体存在的表面凹坑、开裂等外观缺陷,设计了一种双激光对射式自动检测系统。机械结构采用载物链条使细长竹木圆棒整体平移并在弹性压板下滚动,由对称布置的双激光斜入射至压板和圆棒贴合部位,实现对竹木圆棒表面的双螺旋扫描和空隙检测;控制部分以西门子S7-200 Smart PLC为主体,设计了与实体链条同步的数字链条进行并行控制。测试结果表明,系统相对于人工检测漏检率为0,具有成本低、效率高、可靠性高、易于使用等特点,可有效解决细长竹木圆棒胚体表面质量初筛问题。

摘要：加弹机是一种工业领域常见的化纤纺织设备。一般对涤纶、丙纶等进行处理,通过变形、假捻等程序制成带有中弹或低弹的丝线。随着纺织行业的不断发展,进一步提升了对加弹机系统控制的要求。很多客户单位提出要全程监控车间的生产实况,于是化纤加弹机的控制系统成为人们关注的焦点。本文阐述了该控制系统的基本结构,介绍了几种重要的控制功能,分析了系统的通信监控设计。