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双腔并联式无阀压电微泵的设计及制作: 收藏
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引用; 《压电与声光》2010年第4期32卷 611-614页; 作者：李鑫闫卫平徐迎华陈怡儒大连理工大学电子科学与技术学院辽宁大连116023; 为了实现微流控芯片的小型化、集成化,设计并制作了一种可定量连续输送微量液体的无阀压电微泵。该微泵采用双腔并联式结构,利用微机电系统(MEMS)技术在硅基片上制作了具有扩散口/喷口无阀结构的出入水口,采用压电双晶片作为驱动部件,...; 为了实现微流控芯片的小型化、集成化,设计并制作了一种可定量连续输送微量液体的无阀压电微泵。该微泵采用双腔并联式结构,利用微机电系统(MEMS)技术在硅基片上制作了具有扩散口/喷口无阀结构的出入水口,采用压电双晶片作为驱动部件,以聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜。测试结果表明,泵膜的厚度、工作频率和电压对微泵的输出流速均有明显的影响,在频率1 100 Hz及电压80 V时,双腔体并联式无阀压电微泵的最大流速为210μL/min,约为相同结构单腔体微泵流速的1.5倍。; 来源：详细信息评论

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