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波长可调谐氮化硅外腔半导体激光器
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《中国激光》2024年 第13期51卷 58-65页
作者:陈怡茗 丛庆宇 贾连希 邱阳 赵兴岩 郑少南 董渊 钟其泽 胡挺上海大学微电子学院上海201800摘要波长可调谐外腔半导体激光器在片上全光通信和片上光子器件互连集成 
波长可调谐外腔半导体激光器在片上全光通信和片上光子器件互连集成中发挥着至关重要的作用。采用两个半径不同的微环谐振器和两种不同结构的马赫-曾德尔干涉仪,设计了一种基于厚度为700 nm的氮化硅波导的外腔反射镜,并采用大马士革工...
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