摘要：IC制造装备是半导体工艺制程的重要载体。芯片生产过程中,用晶圆传输系统来实现晶圆在不同工位之间快速、高效、可靠的搬运。随着晶圆生产的产量和尺寸的不断增加,对晶圆传输结构的速度、精度要求也日益提高。本文主要介绍R-θ型晶圆传输机械手的典型结构、使用条件、特点及注意事项。为晶圆输送系统的设计及选型提供一些参考依据。

摘要：详细介绍了Φ800 PHC桩试桩的设计要求、检测方案,试验结果与分析,最后对该成果进行了结论及建议。

摘要：本文以加压气化焦油温度大于170℃和230℃馏分为原料,研制的防水油膏经测试在耐热性、保油性和低温柔性等指标均高于部颁标准(TC-76)。加压气化焦油防水油膏的研制,为开展煤的综合利用、降低煤气成本,创造出一条新的途径。

摘要：采用三因素(氮、磷肥及密度)二次正交旋转组合(三区组)设计方法,对抚105水稻新品种进行高产栽培措施优化研究。分析结果区组间差异不显著。又依设计结构矩阵及产量结果求得模拟的产量方程,该方程F回显著,F失拟不显著,说明产量方程显著,且拟合良好,可以使用。依方程拟出53个处理组合产量值,其中产量达575 kg/667m2以上的有23个组合,剖析其分布状况,得到了达此产量的优化农艺措施值。将方程偏导后解得产量600 kg/667m2以上的各因子实施值。又依方程求得各因子效应系数,磷肥>氮肥>密度,方程各偏回归系数中仅有x22与x12项分别达极显著与显著水平,均说明磷肥对产量的贡献最大,其次是氮肥与密度。

摘要：目的根据乳腺导管内癌的临床及病理特点探索其个体化治疗方式及其预后观察。方法根据每例乳腺导管内癌的临床及病理特点采用个体化综合治疗方式，观察其预后。结果本组67例患者根据肿块大小，术中冰冻病理切缘情况，来确定手术方式。其中象限切除术18例，肿块切除活检术10例，乳房单纯切除术16例或加I期乳房假体植入术14例，乳腺肿块切除术＋乳腺癌改良根治术4例，保乳术5例。术后辅助化疗33例，放疗23例，内分泌治疗42例。5年随访，2例死亡。不同术式组五年复发率和生存率无统计学差别。结论导管内癌的治疗主要根据肿瘤大小来决定不同手术方式，同时结合肿瘤组织学特点、性激素受体等因素综合设计个体化治疗。

摘要：鄂尔多斯美术馆有两条功能主线：公共展览线路和内部资料线路.展览的交通以线性展开,水平低矮的入口顺沿沙丘坡地的自然地形扭转,在高处则挑起远望考考什那水库,继而反转,以自身建筑作为结构承载,蜿蜒回落到地面展厅——既是公共展览流线的结束高潮,或又向下延续开始内部资料流线——作为出口与入口相互对望,整个公共交通呈现一个“8”字型的连续线路.建筑形体因此在沙丘上蜿蜒延展,与地形相互作用形成半围合的院落或广场.这个流线空间一路上跌荡起伏,根据高度和周边地势形成大小、高宽、尺度不同的横截面.沿路结合景观、空间和地势,或以尽端点式玻璃幕远眺水库,或以侧墙连续玻璃引入院落风景,或以顶部开窗围合展览内容.光线也因此多样化,光影和空间交织出特有的节奏.

摘要：CVD腔室需维持一定的温度来保证工艺环境稳定及防止工艺气体冷凝。流体加热因相对电加热而言有更好的柔性,而被较多的采用。本文结合CVD腔室的流体换热计算过程,描述流体换热的影响因素,可用于换热系统的设计选型及参数调节。并可推广至其他类似的流体换热设备。