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MOCVD法生长HgCdTe/CdTe/GaAs多层异质材料工艺研究
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《激光与红外》1990年 第3期20卷 42-45页
作者:丁永庆 彭瑞伍 陈记安 杨臣华中科院上海冶金所 华北光电所 
用自已设计的MOCVD设备,国产的DMCd和DETe金属有机源,采用变通的多层互扩散工艺生长了HgCdTe/CdTe/GaAs外延片,获得良好的n型HgCdTe外延层。研究了生长速率与温度的关系;组份与DMCd/DETe之比的关系;x值与汞源温度的关系。生长CdTe和HgC...
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热壁MOCVDHg_(1-x)Cd_xTe中的Hg蒸汽压和分配比
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《Journal of Semiconductors》1994年 第4期15卷 264-267页
作者:丁永庆 彭瑞伍 韦光宇 陈记安 李贤春 张玉平 刘克岳 赵振香中国科学院上海冶金研究所华北光电研究所 
本文改进和设计了新型可移动式加热电阻炉和反应器,避免了二乙基碲(DETe)与二甲基镉(DMCd)的直接反应,减了预沉积,在Te/Cd比的控制更为准确的条件下重复稳定地获得了x=0.2响应波长为10.6μm的Hg1-x...
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