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硅栅CMOS集成电路测试图形的研究
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《华东师范大学学报（自然科学版）》1992年 第1期 53-63页
作者：桂力敏 贺德洪 丁瑞军 董胜强 谢嘉慧 陈承 陈康民 陈谷平 徐士美华东师范大学电子科学技术系 上海元件五厂 
本文介绍了用于硅栅CMOSIC园片级工艺诊断和可靠性监控的微电子测试图形。重点论述了(1)用于检测漏、源及多晶硅薄层电阻和因扩散及腐蚀引起的横向变化量的组合结构,(2)用于监测CMOSIC动态参数的结构设计及其对工艺的评价。
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