摘要：根据外科刃具材料的性能要求 ,设计并制备了用于外科刃具的Ti(C ,N)基金属陶瓷。通过在两种医疗消毒介质中的腐蚀实验 ,评价了该材料的耐蚀性 ,并讨论了其分别在两种消毒介质中的腐蚀机理。结果表明 ,Ti(C ,N)基金属陶瓷具有良好的耐蚀性 ,其在医疗消毒用次氯酸盐溶液中主要为电化学腐蚀 ,而在H2 O2

摘要：桥面多层膜系残余应力匹配是消除太赫兹微测辐射热计微桥结构形变的重要手段.仿真建立了像元尺寸为35μm×35μm微桥单元有限元模型.基于实验设计(DOE)正交法,采用IntelliSuite软件进行应力仿真,获得支撑层、钝化层、电极层、热敏层、吸收层应力分别为+200 Mpa、+200 Mpa、+200 Mpa、0 Mpa、-400 Mpa的最佳应力组合,最小微桥单元形变(0.0385μm).通过各膜层残余应力控制,制备出基于该优化微桥单元结构的320×240太赫兹焦平面阵列,获得与仿真结果相符的极小形变微桥.