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隔热结构中非晶硅的释H_2机理与工艺研究
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《光电子.激光》2010年 第2期21卷 227-230页
作者:马铁英 李铁 李劲松中国计量学院光学与电子科技分院浙江杭州310018 中国科学院微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050 
对采用等离子增强化学气相淀积法(PECVD)制备的氢化非晶硅(a-Si:H)薄膜进行了退火释H2实验,并对三文治结构膜层生长工艺作了改进。红外透射光谱表明:提高退火温度及增加退火时间会造成Si-H键断裂释放H2影响器件结构完整;不断改进设计,...
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戏曲因素在漫瀚调演唱中的遗风之浅见
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《戏曲艺术》2004年 第2期25卷 115-118页
作者:马铁英 
内蒙古西部鄂尔多斯准格尔地区 ,民间生活里现存的民俗音乐形态漫瀚调演唱 ,其艺术特色鲜明、地方特色浓郁 ,具有多民族民俗音乐文化混生性的特征。在此样民俗音乐形态中 ,笔者认为可清晰的感悟到汉民族戏曲因素对其特色的生成及影响 ,...
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〈100〉正面开口快速湿法腐蚀释放悬浮结构的研究
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《固体电子学研究与进展》2012年 第1期32卷 58-63页
作者:马铁英 李劲松 梁培中国计量学院光学与电子科技分院杭州310018 
设计了三种正向开口方式为〈100〉向折线型、长条型、长短条复合型的悬浮膜系。在水浴温度80°C条件下,120min后,〈100〉开口膜系由50%KOH溶液各向异性腐蚀快速释放成形,获得完整无粘连的悬浮结构。在〈100〉快速腐蚀释放原理基础上...
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非制冷微测辐射热计的热学设计与分析
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《红外与激光工程》2007年 第6期36卷 920-923页
作者:马铁英 李铁 王跃林中国科学院微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 
电压灵敏度和热时间常数为表征微测辐射热计热性能的两个重要参数,热绝缘结构尺寸是决定性能参数的首要因素。首先采用解析法计算,并分析了这两个性能参数随结构尺寸改变的规律,确定一组能兼顾电压灵敏度及热时间常数的结构尺寸优化值,...
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良好教学生态体系的建构对促进教学质量提升的思考与践行
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《北京教育(高教)》2015年 第9期 75-77页
作者:马铁英北京现代音乐研修学院 
艺术类高等教育机构的教育质量问题,是所有此类院校,从办学初始到不同办学阶段过程中,寻求发展且关乎核心生存的重要问题。质量从何来?由于各院校不同的教学生态情况,需要作出适合的科学思考和探索可践行的实践路径,以期构建良好的教学...
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聆品蒙古族质朴的民俗场景——民乐小合奏《草原的故事》听读札要
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《内蒙古大学艺术学院学报》2017年 第4期14卷 122-124页
作者:马铁英北京现代音乐研修学院北京101121 
百多年来,蒙古民族在不同的地域、生产、生活环境中,一直在通过陶力、潮尔、好来宝、乌力格尔等民族曲艺样态,传讲历史、描摹故事、叙述人物传记、说唱民俗生活。而这一民间艺术群系,在历史的长河中,至今依然保持有鲜活的命脉张力,且自...
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低成本、小型化微电工艺教学实验室建设
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《电气电子教学学报》2019年 第3期41卷 130-131,148页
作者:马铁英 朱东朔中国计量大学光学与电子科技学院浙江杭州310018 复旦大学药学院上海201203 
针对微电子工艺实验室造价维护成本高昂和非重点院校建设经费少的矛盾,本文提出了小型化、低成本的半导体工艺实验室建设模式,在控制成本的基础上尽可能完善实验设备,保证本科生实验教学质量,开设课程设计、微电子工艺实验及毕业设计,...
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“集成电路工艺原理”课程中湿法腐蚀实验安排
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《电气电子教学学报》2012年 第2期34卷 83-84页
作者:马铁英 唐莹 董艳燕 李劲松中国计量学院光学与电子科技学院浙江杭州310018 
为了形象演示"集成电路工艺原理"课程中的各向异性湿法腐蚀,笔者指导学生设计了一组(100)硅片上以SiO2正方薄膜为掩膜的腐蚀实验。学生自主配置KOH了溶液,改变水浴温度进行各向异性腐蚀实验,并利用金相显微镜对样品实时观察...
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浅谈智能建筑
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《才智》2008年 第15期 30-30页
作者:马铁英伊通满族自治县工程监理有限公司 
智能建筑在我国进入了一个前所未有的发展阶段,它将计算机技术、通信技术、信息技术与建筑艺术有机地结合在一起,通过对建设设备的自动控制,对建筑内信息资源的管理和对使用者的信息服务,并把设备的监控技术、资源管理和信息服务与建筑...
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