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微米/纳米技术浅谈——MEMS的微加工技术(三): 收藏
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引用; 《惯性世界》1997年第3期 11-16,,24,页; 作者：高寿祖; 微加工方法类别微机电系统(MEMS)的制造技术,无论微型惯性测量组合(MIMU),或是其它应用领域的各种MEMS,均涉及到其各主要组成单元的设计、材料、微加工、测试、控制等有关技术,它们与常规的机电系统的设计、制造技术是有较大差别的。MEM...; 微加工方法类别微机电系统(MEMS)的制造技术,无论微型惯性测量组合(MIMU),或是其它应用领域的各种MEMS,均涉及到其各主要组成单元的设计、材料、微加工、测试、控制等有关技术,它们与常规的机电系统的设计、制造技术是有较大差别的。MEMS的设计必须考虑到各种力的尺寸效应,以及其它微机械特性、微摩擦性能等。; 来源：详细信息评论

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