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LIGA工艺在工程中的两类应用
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《核技术》2002年 第10期25卷 883-888页
作者:高杨 李枚 彭良强 张菊芳 黄军容上海交通大学微纳米科学技术研究院上海200030 中国工程物理研究院电子工程研究所绵阳621900 中国科学院高能物理研究所北京100039 
本文从LIGA工艺的工程应用角度 ,简要介绍微小型安全密码锁机构、微小型加速度开关结构的基本设计问题和工艺问题 。
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3B1束线上LIGA掩模的设计研究
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《微纳电子技术》2003年 第7期40卷 147-150页
作者:黄军容 彭良强 伊福廷 蒋毅坚 张菊芳 韩勇中国科学院高能物理研究所北京100039 北京工业大学国家产学研激光技术中心北京100022 
BSRF中的 3B1光束线与LIGA实验站过去使用的 3W 1光束线相比 ,其同步辐射X光光谱较软、光强较弱 ,但可实现专用光和兼用光两用。现在LIGA实验站移到 3B1光束线 ,为此必须进行新的LIGA掩模设计、制作。结合此研究目的 ,本文通过使用XOP和...
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