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芯片的制造过程
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《机电工程技术》2004年 第11期33卷 69-72页
作者：解振华 黄蕊慰广东工业大学机电学院广东广州510090 
芯片制造已经成为国民经济发展的关键,我国的芯片产业已显示出设计、制造和封装三业并举的局面,集成电路技术已进入了同行业的国际主流技术领域。本文介绍了芯片从开始单晶制作到最后芯片封装的主要工艺过程。
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