摘要：TFT-LCD面板在屏幕上有斑点或波浪状Mura,影响液晶显示器的品质,经过图形匹配,缺陷与曝光机机台形貌匹配。通过对异常区域特性分析,发现异常区域的BM CD、BM像素间距存在异常。对原因进行模型分析:玻璃在曝光机基台上局部区域发生弯曲,曝光距离变短,致使BM PR受光区域变小,BM CD会偏小,进而导致区域性透过光不均一产生Mura;玻璃弯曲后BM像素间距相对于设计位置也会发生变化,从而导致漏光产生Mura。经过实验验证,BM CD和像素间距的偏差主要由机台凸起导致glass弯曲引起,可以通过降低吸附压力和研磨机台,来改善CD差异和像素间距偏移,同时像素间距偏移漏光,也可以通过增加CD来改善。最终通过BM CD增加、研磨机台和降低吸附压力措施,Stage Mura不良率由10.05%下降至0.11%。

摘要：在现代液晶产品生产线上,基于YMS强大的运算能力、丰富的结果显示功能,通过对一定时间内单个样本AOI检测结果的重新计算,实现对Defect分布规律的监控。为了能更好的起到监控作用,丰富监控结果,终端显示从以下四个方面进行计算和输出:(1)按照坐标输出缺陷水平;(2)按缺陷大小和类型输出缺陷水平;(3)按来料Lot输出缺陷水平;(4)按基板输出缺陷水平。以上四个方面的数据监控能够及时发现异常来源,从而对产线的正常生产提供有力保障。此外,增加自动刷取和推送以及异常提示的设计,提高了监控的便利性。