摘要：完成一套气溶胶静电计的搭建,系统研究了有/无大电流载体下fA级电流响应的校准技术,考察了仪器稳定性,对测量不确定度进行评价,并与国外实验室开展双边比对研究。结果表明,仪器溯源性好,稳定度高,测量结果准确可靠。

摘要：碳纳米管(Carbon Nanotubes,CNTs)因其优异的电学性能和大长径比被广泛用作电子源阴极材料。CNTs具有高稳定性和长寿命等特点,广泛应用于高压电极电真空器件中。CNTs电子源采用MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)工艺,有助于质谱分析元件、电离真空计、微推力推进器等真空元器件的微型化。设计了一种基于碳纳米管的带有气体进样和离子传输通道的三电极场发射电子源,可为MEMS质谱离子源提供电子束。通过仿真分析和实验测试,研究了栅极结构和馈电参数对场发射性能的影响规律。仿真分析最大场发射阴极电流为46.085μA,电子透过率为64.28%;实验测试最高场发射电流密度为1.62 A/m^(2),电子透过率为75.34%。