摘要：在分析电晕放电激振机理的基础上,基于有限单元法和Newmark积分法建立了输电线路风雨激振有限元分析模型。基于试验和数值分析方法,以输电线型号LGJ-240的相关参数为参考,分别研究了电晕放电离子风的产生及响应、电晕力和风载作用下的瞬态响应和谐响应特性。研究表明,电晕放电对舞动具有显著作用,并在特定输电线结构条件下,易于与外界风载耦合作用引起舞动。分析方法和结论可为多风雨区域的特高压输电线路设计、已有线路升级改造以及振动抑制提供必要参考。

摘要：光刻机工件台的小型重力补偿器是光刻技术中关于硅片调焦调平的关键技术,其性能直接影响机器焦深误差。针对一种主动小型重力补偿器展开研究,给出了机械结构、驱动电机和隔振性能的设计,通过实验表明了设计符合需求。

摘要：通常,在半导体设备刚性结构设计中要求零部件有很高的加工制造精度和装配精度,同时易传递振动、热等,并容易引入附加的力和转矩。为降低质量和成本,并提高工作性能,目前在工件台的设计中广泛采用柔性结构设计技术。列举了常见柔性件结构形式,并分析了不同结构形式柔性件的旋转刚度和精度等特性。同时,根据工件台的实际工作状态和性能需求,选取适用的柔性件结构形式,并结合弹性静力学的理论公式,进行工件台中常用柔性件设计和计算。