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微纳三坐标测量机平移台有限元分析及优化
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《工具技术》2012年 第6期46卷 67-69页
作者：龚开坤 党学明 黄强先合肥工业大学仪器科学与光电工程学院合肥市硕士研究生230009 合肥工业大学 
微纳三坐标测量机定位平移台的机械变形对精度影响较大,故在机械设计时须对其进行分析处理。通过有限元分析软件ANSYS对微纳三维平移台不同轴系及不同状态进行了一系列的建模和分析,分析结论包括:Z轴系统重力引起的X、Y轴定位平移台在...
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