摘要：多晶硅表面微机械技术是微机电系统 (MicroeletromechanicalSystems,MEMS)中重要的加工技术。本文采用这种加工技术 ,提出了一种基于Sagnac效应的新型微机械光学角速率传感器 (OpticalRotationSensor ,ORS)。由于采用MEMS的最新技术 ,它将是一种低成本、微型化的ORS .文中给出了ORS中环形谐振腔的设计和基本理论分析 ,并提出了电路和控制系统的设计。同时完成了ORS关键光学器件———可移动微反射镜的设计和研制工作。

摘要：表面微机械加工技术是实现单片集成微光学系统的一种新方法。本文介绍一种新型的采用微机械加工技术的微型光学加速度计 ,包括设计、关键器件的加工和测试 ,它是基于光线和光闸相互作用引起通光量变化的工作原理。这一微光学加速度计包含一个 2 μm厚的多晶硅光闸 ,光闸采用微弹簧支撑在基片上 ,微弹簧是长度为 2 0 0 μm的多晶硅褶曲梁 ,硅基片和微结构之间所夹的牺牲层采用氢氟酸湿法刻蚀去除。光闸设计为一个质量弹簧系统 ,对加速度力产生响应。