摘要：3.器件的制备和测量3.1.象元设计变量为了满足特定光学系统的要求,必须能够制备多种象元尺寸和间距的列阵。到目前为止,我们已制备了两种类型的低温操作的列阵:一种为象元间距3.5mil的512×512列阵。

摘要：由电阻加热微桥构成的镶嵌列阵给红外景象模拟提供更大的灵活性。对于红外摄象机和寻的器系统实时性能测试而言,动态的景象模拟是很重要的。用薄膜实现辐射器象元的优良热性能和独特的热隔离结构有可能使每个象元的每度温升约需1μW功率水平。用具有高比辐射率和高占空因子的象元实现高的辐射度和大的动态范围,为了获得低背景辐射度,象元与衬底和驱动电路一起在低温下工作。象元的热时间常数在毫秒级范围,由材料性能和象元的设计决定,它使得动态帧速率有可能超过100Hz。现已制备出两种类型的低温电阻器列阵,512×512列阵的象元间距为3.5mil,128×128列阵的象元间距为2mil。