• 全部搜索
  • 期刊论文
  • 图书
  • 学位论文
  • 学位论文
  • 标准
  • 纸本馆藏
  • 外文资源发现
  • 产品样本
  • 电子图书
  • 原文传递

限定检索结果

检索条件"作者=Christine Ye"
共 1 条 记 录，以下是1-10 订阅
全选 清除本页 清除全部 题录导出 标记到"检索档案"
视图：
排序：
用于130nm/90nm新工艺开发的铜CMP阻挡层磨料系统(英文)
收藏
分享
引用
《电子工业专用设备》2003年 第6期32卷 22-25页
作者：christine ye Michael Oliver John Quanci Matt VanHanehem 无Rodel有限公司PhoenixAZUSA Ray Lavoie Rodellnc.PhoenixAZ Introduction 
通过与实验室的CMP和集成工程师合作,采用测试系统观察两种或两种以上混合配方磨料的选择比。实验数据表明,通过改变单个化学试剂组分的浓度改变磨料的选择比效果突出,磨料配方师可以简便地修改磨料配方。这种方法的优点是,如果改变集...
来源：详细信息评论
全选 清除本页 清除全部 题录导出 标记到“检索档案”
共1页<< <1> >>
聚类工具 回到顶部