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检索条件"作者=Chuck Hautamaki"
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埋入式无线MEMS应变片系数的标定
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《电子器件》2002年 第2期25卷 113-116页
作者：周嘉 曹莉 S.C.Mantell chuck hautamaki Tae Song Kim 黄宜平复旦大学微电子学系 美国明尼苏达大学机械系明尼阿波利斯mn55455 
本文研究了一种埋入式MEMS(微电子机械系统 )无线应变片性能的实验标定方法。通过引入一个当量应变片 ,遵照标准应变片的标定规定 ,本文设计了实用有效的实验标定步骤。分别对标准应变片和MEMS试样进行完全相同的拉伸实验 ,从而得到埋入...
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