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纳米定位测量机操作测量结果(英文): 收藏
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引用; 《纳米技术与精密工程》2004年第2期2卷 81-84页; 作者：JAGER Gerd GRUNWAlD Rainer MANSKE Eberhard HAUSOTTE Tino fuβl roland德国伊尔梅瑙工业大学; 伊尔梅瑙工业大学过程测量和传感技术研究所研制了三维纳米定位和测量机 (NPMM ) .阿贝无偏设计使得该机器异常精确 .在整个 2 5mm× 2 5mm× 5mm的定位和测量域内 ,干涉测长系统分辨力可达 0 .1nm ,不确定度达 5～ 10nm .提供...; 伊尔梅瑙工业大学过程测量和传感技术研究所研制了三维纳米定位和测量机 (NPMM ) .阿贝无偏设计使得该机器异常精确 .在整个 2 5mm× 2 5mm× 5mm的定位和测量域内 ,干涉测长系统分辨力可达 0 .1nm ,不确定度达 5～ 10nm .提供了纳米定位测量机的基本信息 ,介绍其操作模式。; 来源：详细信息评论

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