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检索条件"作者=H.Strakov"
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CVD工艺及设备技术
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《工具技术》2013年 第7期47卷 33-36页
作者：h.strakov A.Scott瑞士IHI Ionbond AG公司 
过去30多年来,对于CVD(化学气相沉积)涂层用于防护性应用方面的要求增长迅猛。通过提高工业涂层设备的可靠性,基体材料的持续优化,以及针对应用问题诸如前后处理等辅助工艺的集中解决方案等,相应的技术进步实现了从上世纪60年代的单一...
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