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一种适合于电容式气敏传感器的加热膜
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《传感器技术》1994年 第1期13卷 52-55页
作者：hille,p 李本会 
覆着气敏层的叉指式电容适于用微电子技术使气体传感器集成化,它们能通过安装在加热膜上而使其温度稳定,但通常都面临着通过该加热膜对大面积传感器的有效温度梯度的问题。介绍了在加热膜上能保证近乎均匀温度分布的加热器配置,用于估...
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