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检索条件"作者=Hyoung Kang"
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在线检测与分析快速发现不可见的电学缺陷
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《集成电路应用》2007年 第11期24卷 42-44页
作者：Michael Schmidt hyoung kang Larry Dworkin Kenneth Harris Sherry LeeFEI Co. PDF Solutions 
在Fab里,在经过特别设计的短流程测试晶圆上进行的快速电学测试和自动FIB/SEM缺陷分析可以将不可见缺陷探测与分析的时间降低一个数量级,并且对不同的设计参数非常敏感,因而有足够的样本来做重要的统计评估。
来源：详细信息评论
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