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三个微加工可变电容式马达的研究
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《电子器件》1990年 第3期13卷 49-50页
作者：M.MEhREGANY S.F.BART L.S.TAVROW j.h.lang S.D.SENTURIA M.F.SChLEChT 李明祥Microsystems Microsystems Techno’ogy LaboratoriesDapartment of Electrical Engineering and Computer ScienceMassachusetts Institute of TechnologyCambridgeMA 02139(U.S.A 
本文讨论了三种可变电容式电动马达的工作原理、设计和微细加工.它们分别是顶部驱动式、侧向驱动式和调谐侧向驱动式三种.这些微型马达的各自优点与不足之处也一并作了讨论.本文中讨论的这些微型马达都是通过表面微细加工的方式制得的....
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