摘要：微热加速度计和微热陀螺仪两者传感芯片结构相似,并且制备工艺完全兼容,在同一块绝缘体上硅(SOI)基板上运用同一工艺流程同时制备出了微热陀螺仪传感芯片和微热加速度计传感芯片。为了准确地创建微尺度的图案和结构,设计了四块光刻掩模版来制作该微热加速度计芯片和微热陀螺仪芯片,分别对应于接触孔开口、热敏电阻、互连布线和背面空腔。轻掺杂硅热敏电阻的可控电阻温度系数(TCR)大于传统金属丝,因此选择p型硅作为热敏电阻材料。TCR由硅片的掺杂浓度决定,使用了三种不同掺杂浓度的硅片进行对比实验,从而选定硅片的掺杂浓度为1×10^(17)cm^(-3),对应的TCR为3500×10^(-6)/℃。选择SOI作为衬底材料,显著增强了微热陀螺仪和微热加速度计的耐高温性,并且提高了其灵敏度。在电感耦合等离子体-反应离子刻蚀(ICP-RIE)和氢氟酸(HF)蒸气工艺过程中,通过光刻胶和聚酰亚胺层成功保护了非常薄和易碎的热敏电阻,在4英寸(1英寸=2.54 cm)SOI基板上一次最多可以成功制备出180个微热陀螺仪传感芯片和108个微热加速度计传感芯片,制备的微热加速度计传感芯片尺寸为2 mm×2 mm×0.4 mm,微热陀螺仪传感芯片尺寸为5.8 mm×5.8 mm×0.4 mm。分别对制备的微热加速度计和微热陀螺仪进行了测试,微热陀螺仪x轴灵敏度为0.107 mV/(°/s),y轴灵敏度为0.102 mV/(°/s),微热加速度计灵敏度为13 mV/g。通过一次工艺流程制备出两种热流体惯性传感器,极大地缩短了制备时间,降低了制备成本,成功实现了高精度的批量生产。

摘要：针对500~1000 kV特高压输电线路中的160~550 kN瓷质型绝缘子串,设计了沿线路自主攀行的机器人,使得攀行过程中对每片绝缘子电阻的测量实现绝缘子串的带电检测。在考虑节能前提下平滑机器人作业路线,通过机械手抓手、绝缘连杆、旋转电机、检测探针及控制箱等机构的建立,实现机器人前向攀行及反向攀行动作。设计电机模块参数并采用Ansoft Maxwell软件对电机参数进行了仿真验证。通过模拟试验及样机测试验证了所提机器人检测系统的有效性。

摘要：为提高低压差线性稳压器(Low-DropOut Linear Regulator,LDO)的稳定性并降低前馈电路所产生的噪声,提出了一种生成自适应补偿零点的低噪声前馈电路。该前馈电路通过镜像调整管的负载电流,通过低值反馈电阻形成高增益反馈信号,与LDO输出电压经反馈网络传递给反馈端的信号耦合形成由负载电容、负载电流控制的可控零点,可有效提高LDO电路整体的稳定性。此外,电路内部加入了产生动态极点的自适应电流补偿电路以保证次极点不会对环路的相位裕度产生影响。基于0.18μm BCD工艺设计,该电路在0~800 mA的宽负载范围、5 V输入3.3 V输出下相位裕度均高于48°,适用负载电容范围≥1μF,同时该LDO在10~100 kHz的频率范围内输出噪声仅为5.0617μVrms。

摘要：2022年版义务教育课程方案和数学课程标准的颁布为新时代义务教育阶段的数学教育指明了发展方向,为课堂教学的实施提出了新的挑战,也带来了新的发展契机。建立以核心问题、学习路径、学习支架和学习评价为抓手的多维价值追求的单元整体教学设计,是落实核心素养整体性、一致性和阶段性的有效路径,也是在课堂教学中真正落实立德树人根本任务的必然选择。

摘要：针对井下监控装置采集的图像普遍存在照度低、颜色失真及细节特征损失严重等缺陷,提出一种基于改进CycleGAN网络的煤矿井下低照度图像增强算法.首先针对井下成对图像数据获取困难的问题,基于循环生成对抗网络搭建循环图像增强主体框架实现模型的无监督训练;然后基于CSDNet的全局图像分解架构,设计了一种融合空间-通道注意力模块CBAM的双分支估计网络以并行估计图像的光照分量和反射分量,并在两分支网络之间建立多尺度特征分解机制,从而在大幅提升亮度的同时避免颜色失真现象,保留大量细节信息;使用全局-局部判别器调节图像局部区域的亮度,改善亮度不均,避免过曝及阴影现象.实验结果表明:相较于对比算法RetinexNet,LLNet,MBLLEN,EnlightenGAN和CSDNet,本算法在客观质量指标PSNR(峰值信噪比)、SSIM(结构相似性)、IFC(信息保真度)和VIF(视觉信息保真度)上的表现分别提高了11.787%,8.256%,9.658%和8.654%,并在人类视觉主观分析上优于对比算法,证明本文算法能够有效改善井下低照度图像视觉效果.

摘要：通过分析历史文化街区保护利用的现状特征与实施问题,总结现有以历史文化街区保护规划为核心的实施体系在规划的可操作性与指导性、运营的即时性与专业性、设计的精确性与引导需求等方面存在的问题,探讨建构“规划—运营—设计”的互动校核关系及“上游—下游”实施衔接的专项规划编制路径的需求。在此基础上,结合苏州五卅路历史文化街区的实践,从“保护优先—运营先导—设计跟进”的内容统筹、“向上衔接汇总—向下一站服务”的实施流程两方面探索面向实施的历史文化街区保护利用专项规划编制路径,为如何有效加强城乡建设中历史文化的保护与传承提供实践参考。

摘要：将悬臂梁结构与平行平板型结构相结合,研发了一种挠曲式静电驱动微电子机械系统(MEMS)微反射镜。为了实现大扭转角度、小驱动电压的设计目标,通过仿真实验进行对比分析,确定了微反射镜的相关尺寸。采用低压化学气相沉积、光刻、反应离子刻蚀和溅射等工艺,成功制备出了一种具有三层多晶硅结构的微反射镜。在制备过程中得出氢氟酸去除牺牲层(磷硅玻璃)释放出微反射镜结构的最佳刻蚀时间为45 s。制作了开关频率为200 kHz的MOSFET高速驱动电路,电路中的栅极驱动电阻(R_(G))是影响输出的关键因素。实验结果表明,当R_(G)额定功率为300 W、电阻为47Ω时,微反射镜能够达到足够启动速度,实现高速开关的设计目标。最后,设计并搭建了微反射镜的测试系统,施加60 V的驱动电压进行测试,通过显微镜观察到微反射镜的明显动作变化以及屏幕上光斑的位移变化,表明制备的微反射镜可正常驱动。

摘要：幼儿准确区分低概率与不可能事件是个体认知发展的重要能力。本研究采用2(年龄:5岁、6岁)×2(虚幻倾向:高虚幻倾向、低虚幻倾向)×3(事件类型:日常事件、低概率事件、不可能事件)的混合实验设计探讨虚幻倾向与事件类型对幼儿真实性判断的影响。结果发现:6岁幼儿比5岁幼儿更善于判断三种事件的真实性;相比低概率事件,幼儿更善于判断日常与不可能事件;低虚幻倾向幼儿比高虚幻倾向幼儿在真实性判断上表现得更好;幼儿更多地使用事实性与假设性解释来解释日常事件,使用冗余性解释来解释不可能事件。研究揭示了5岁与6岁幼儿在判断低概率事件的真实性上有难度,且6岁幼儿与低虚幻倾向幼儿更善于真实性判断。

摘要：新一轮科技革命和产业变革与中国加快转变经济发展方式形成历史性交汇,对国家面临的挑战和维护安全的方式产生深远影响。维护科技领域尤其是关键科技领域安全已成为落实国家总体安全观的重中之重,探索构建用于评价关键科技领域安全风险的指标体系也因此而意义重大。本研究在探讨关键科技领域安全风险内涵的基础上,根据指标体系构建的C-S-F-C-W-D原则构建二维-多核的风险评价框架。以框架为依托,依照从总体到一般,从现象到本质的逻辑设计了4个一级指标、13个二级指标、35个三级指标,并基于咨询专家的打分结果计算指标权重,初步构建中国关键科技领域安全风险评估的指标体系。本研究有助于精细化把握该领域的发展动态,为构建新型举国科技创新体制提供治理工具。

摘要：设计了一种基于静电驱动的平行平板型微反射镜,主要由镜面、下电极、支柱和玻璃基板构成。通过有限元模拟分析得到的仿真结果表明,带孔结构的微镜模型模拟位移量是传统双横梁支撑结构微镜模型的1.5倍,确定了制备的微镜装置结构。在制备过程中只采用了溅射、光刻、机械切割及反应离子刻蚀等工艺,简化了工艺流程,降低了制备成本。使用反应离子刻蚀(RIE)去除牺牲层,为了克服光刻胶OFPR800灰化速度慢、灰化时间过长会损伤器件的问题,提出添加氟类气体的解决方法。实验结果表明,使用O_(2)和SF_(6)混合气体作为刻蚀气体刻蚀牺牲层后,射频(RF)溅射成的铝膜平均表面粗糙度为5.33 nm,均方根粗糙度为7.44 nm,在250~850 nm的波长范围内能够得到70%以上的反射率,并且无光刻胶的残留,刻蚀效果最理想,因此采用了O_(2)/SF_(6)RIE工艺去除牺牲层。针对仿真中出现镜面层厚度变化影响驱动位移的现象,制备了镜面层厚度分别为0.5和0.8μm两种微镜样品进行了测试。实验结果表明:0.5μm厚的样品不能承受自重而凹陷,0.8μm厚的样品镜面驱动位移接近0.1μm,符合设计要求。