摘要：介绍一种使用sawyer马达驱动的平台和表面编码器组成的精密定位系统．该平台包括一个台板和若干线性脉冲马达推动器．台板由防腐钢板制成,在其表面加工了齿牙．线性脉冲马达推动器靠空气支承悬浮在台板上,用以驱动平台．每一驱动器均由一个永久磁铁和两个驱动线圈组成,用以产生X向和Y向的平台驱动力．设计了一种表面编码器用以测量和控制平台的运动．一个正弦格栅装在台板上,一个传感组件装在平台驱动器上．在该传感组件中有三个光学传感器,用以测量三个分离点上的X和Y方向的位置,平台的θ_z向位置可以从传感器输出求得．开发了一种反馈控制系统用以控制平台运动．测量和反馈控制实验证明了该精密系统的可行性．

摘要：提出了一种高精度、大行程的原子力显微镜探针结构,可用于测量大面积的微观结构表面.该探针结构包括一个硅悬臂梁和一个环形的预压型压电(PZT)执行器,执行器沿Z轴的行程为70μm,其内部集成了一个具有纳米级分辨率的小型线性编码器,可用于测量PZT执行器的位移.编码器的刻度沿执行器的轴向(Z轴)排列以消除阿贝误差.此线性编码器使原子力显微镜探针PZT执行器的行程范围内具有1nm的分辨率,原子力显微镜探针结构联接有两个线性平移台,可用于X和Y方向扫描样本,扫描面积为50mm(X)×40mm(Y).X向平移台和Y向平移台的移动量可由线性编码器测得,分辨率为纳米级.进行了正弦曲面的测量实验.