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具有力传感器的纳米加工探针的设计(英文): 收藏
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引用; 《纳米技术与精密工程》2005年第4期3卷 307-313页; 作者：高伟 GENDA Satoshi KUDO Yasuto KIYONO Satoshi patten a john日本东北大学工程学院纳米机械系美国西密歇根大学制造工程系制造研发中心; 给出了一种用于复杂表面形状精密纳米加工的探针装置．该探针由一个高速可控的金刚石切割单元(FTC 单元)和一个高灵敏度的压电式力传感器组成．而FTC单元由一个单点金刚石切割工具和一个压电陶瓷晶体 (PZT)驱动器构成．压电陶瓷晶体(PZT...; 给出了一种用于复杂表面形状精密纳米加工的探针装置．该探针由一个高速可控的金刚石切割单元(FTC 单元)和一个高灵敏度的压电式力传感器组成．而FTC单元由一个单点金刚石切割工具和一个压电陶瓷晶体 (PZT)驱动器构成．压电陶瓷晶体(PZT)驱动器可对与切削量相对应的金刚石工具的Z向位置进行高速控制,从而实现加工复杂表面形状的目的．加工中的切削力是反映切削进程的重要指标,可由联结于FTC单元的高灵敏度力传感器进行测量．比对了用于联结力传感器和FTC单元的两种设计方法．; 来源：详细信息评论

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