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检索条件"作者=ROBERTA．ESCOBEDO"
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用临时性设备满足半导体FAB质量
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《工业水处理》2005年 第12期25卷 12-12页
作者：roberta．escobedo 纪永亮 
某半导体公司约定了一临时性的水处理系统，在其主要设备升级期间用以提供精处理回路的补水，工艺设计包括双通道反渗透（RO）、气体传输膜（GTM）、电去离子（EDI）、离子交换（IX）精处理和过滤。本报告提供的数据表明，补水的电导率...
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